由于作為進(jìn)水的純水系統的制水速度較慢，因此在純水系統與超純水系統之間必須有水箱作為過(guò)渡。然而在水箱中貯放純水會(huì )因為材質(zhì)的溶出、空氣中無(wú)機物質(zhì)與有機物質(zhì)的污染，以及微生物的繁殖等因素造成純水水質(zhì)的劣化，進(jìn)而增加超純水系統的純化負荷。為了讓超純水裝置有穩定的進(jìn)水水質(zhì)，如何使水箱的水質(zhì)劣化程度控制在最小范圍內非常重要。

1)以空氣過(guò)濾器去除空氣中的污染物質(zhì)

實(shí)驗室的空氣中含有使純水水質(zhì)劣化的二氧化碳與浮游微生物，使用有機溶劑實(shí)驗室空氣中則含有揮發(fā)性有機溶劑。當空氣中的二氧化碳溶解于水中，會(huì )形成碳酸根離子，使水箱中純水的電阻率大幅降低，將造成超純水系統中陰離子交交換樹(shù)脂的負荷量增加，而縮短其使用壽命。除此之外，水箱中的純水若混入微生物與有機物質(zhì)，也會(huì )造成微生物增殖和有機物質(zhì)的再次污染。因此，純水水箱應呈密閉狀態(tài)，因為水箱必須設置通氣口使純水可以順利的流出，所以為了防止空氣中的污染物質(zhì)透過(guò)通氣扣、口進(jìn)入純水水箱內，加裝空氣過(guò)濾器是不可或缺的。

2)以殺菌用UV燈防止微生物繁殖

水質(zhì)純化雖然有不同的方法，但仍有少量微生物殘存。只要留存于水箱中，就有繁殖的可能性。雖然純水中幾乎不含營(yíng)養成分(有機物等)，但仍有能適應貧瘠營(yíng)養環(huán)境的微生物存在的可能。所以，在水純化的過(guò)程中，、應該具備殺菌的相關(guān)程序。

藥劑洗凈與熱水殺菌，對于純水中微生物的殺菌效果是單次性的，而非持續性的。相對而言，紫外線(xiàn)照射殺菌法，只要再照射期間，對微生物的殺菌作用就能夠持續。紫外線(xiàn)的殺菌能力，以紫外線(xiàn)光強與照射時(shí)間來(lái)表示。當純純水中的微生物受到100mw.s/cm2的照射量處理時(shí)，殺菌率就可達99.9%。這里，我們在水純化過(guò)程中加裝紫外燈，并對其殺菌效果進(jìn)行檢測。首先我們在純水系統的水流管路中加裝紫外燈，采用連續照射方法，對進(jìn)行殺菌效果進(jìn)行檢測。

一般來(lái)說(shuō)，水純化過(guò)程中若不使用紫外線(xiàn)照射，純水系統的細菌數會(huì )超過(guò)100cfu/ml，而使用紫外線(xiàn)照射的純水系統，其細菌數可以降至10cfu/ml。也就是說(shuō)，純水系統管路中若使用加裝紫外燈，對降低細菌數具有非常好的效果。但幾天后，就出現了細菌增殖的現象。這是因為，水箱中的細菌的繁殖沒(méi)有受到抑制，細菌數逐漸增加。因此，對純水系統中的微生物進(jìn)行控制時(shí)，只對純化程序中的管線(xiàn)進(jìn)行紫外線(xiàn)照射是不足的，應同時(shí)對水箱中的細菌繁殖進(jìn)行抑制。