玻璃基板應用超純水設備制備清洗用水
玻璃基板是構成液晶顯示器件的一個(gè)基本部件,這是一種表面極其平整的浮法生產(chǎn)薄玻璃片,現已被廣泛應用于筆記本電腦、手機、攝像機、平板電腦等領(lǐng)域,玻璃基板的生產(chǎn)自動(dòng)化系統的工序中,需要用超純水沖洗基板并進(jìn)行化學(xué)處理,而化學(xué)處理中化學(xué)液需要用一定濃度的化學(xué)原液與超純水混合配置,化學(xué)液直接與工件進(jìn)行接觸,若超純水設備產(chǎn)水水質(zhì)不純,將會(huì )影響產(chǎn)品良率。
玻璃基板超純水傳統制備工藝是采用陰陽(yáng)樹(shù)脂交換設備,該工藝的缺點(diǎn)在于樹(shù)脂在使用一段時(shí)間以后要經(jīng)常再生,隨著(zhù)膜分離技術(shù)的不斷成熟,滲源常采用反滲透工藝,或是采用反滲透后面再經(jīng)過(guò)電去離子EDI工藝、拋光混床來(lái)制取超純水,保證出水水質(zhì)符合行業(yè)標準,滿(mǎn)足芯片行業(yè)用水需求。
玻璃基板超純水設備主要具有以下特點(diǎn):
1.全自動(dòng)智能識別,并且具有故障預警功能,安全可靠。
2.操作簡(jiǎn)單,顯示數據簡(jiǎn)明清晰,參數全面,易于綜合考量分析。
3.純化模塊分工明確,部分更換不會(huì )影響總體工藝流程。
4.專(zhuān)業(yè)配備預處理模塊,對進(jìn)水有機物和余氯的去除更徹底,反滲透膜的使用壽命更長(cháng)。
5.多功能脫鹽凈化處理單元,逐級脫鹽處理,最終滿(mǎn)足用水水質(zhì)要求。
6.配備高精度的電阻率檢測系統,全面監控超純水設備的運行和水質(zhì)變化。
7.運行成本和維修成本低,并且操作簡(jiǎn)單,勞動(dòng)強度低。
滲源超純水設備,超純水精度可達美標E1.3,采用膜表面嫁接技術(shù)達到更好的脫鹽率,能連續、穩定地生產(chǎn)高純度的超純水。已成功應用到晶圓、電子芯片、集成電路、精密儀器、電鍍涂裝、試劑稀釋、氟化工等多個(gè)領(lǐng)域。
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